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抛光盘磨损相关论文
冰冻固结磨料抛光单晶锗薄片的机理与工艺研究
锗是除硅以外最重要的半导体材料,不仅在半导体工业,而且在高频、红外、航空航天、太阳能电池、化学催化剂、生物医学等领域都有广......
学位
单晶锗片
冰冻固结磨料抛光
脆塑转变
纳米磨料
抛光盘磨损
温度场
去除模型
表面粗糙度
材料去除率
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