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抛物型PDE相关论文
直拉硅单晶非均匀相变温度场最优控制
针对直拉硅单晶固液界面相变温度场的非均匀性导致晶体直径不均匀问题,提出一种基于偏微分方程(PDE)模型的温度场最优控制策略.考......
期刊
直拉硅单晶
相变温度场
生长直径
抛物型PDE
分布参数系统
Czochralski monocrystalline silicon
phase transit
直拉硅单晶生长过程温度场建模与数值分析
硅单晶作为半导体行业的重要原材料,信息化的快速发展对其品质提出更高的要求。在直拉法制备晶体过程中,相变温度场是单晶生长的驱......
学位
直拉硅单晶
相变温度场
生长直径
抛物型PDE
分布参数系统
数值模拟
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