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金刚石微波等离子体化学气相沉积法三维生长拼接生长异质外延

MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展

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金刚石 MPCVD 横向外延拼接生长掺杂二极管场效应晶体管探测器 diamond MPCVD lateral overgrowth mosaic gr

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