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振动阴极反应室相关论文
硅粉在振动阴极反应室中的刻蚀模型研究
一直以来,硅材料的昂贵成本限制了太阳能电池在地面的应用普及,因此低成本硅材料制造技术的研究开发成为太阳能电池发展的一个比较......
学位
硅粉提纯
冷等离子体
振动阴极反应室
刻蚀速率
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