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掺Ti氧化铟相关论文
采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究
采用室温磁控溅射的方法在玻璃衬底上沉积掺Ti氧化铟薄膜,并在真空中采用XeCl准分子激光进行退火,样品的光学、电学性能、相结构分别......
期刊
掺Ti氧化铟
室温沉积
激光退火
ITiO
room temperature deposition
laser annealing
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