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放气率测量相关论文
基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究
在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于四极......
会议
真空材料
放气率测量
四极质谱计
测试装置
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