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科学实验课本上有一个彩虹实验:阳光透过三棱镜能折射出赤、橙、黄、绿、青、蓝、紫七种颜色的光。我觉得这个实验很好玩,心里老盼......
提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。以方镜平移补偿量与旋转补偿量为测量目标,使用两个双频激光干涉仪分......
