随着集成电路（IC）的高速发展以及半导体行业内摩尔定律（ML）的延续,集成电路的集成程度越来越高,这就意味着在一个同样大小的芯片上需要......

LED已经成为头盔液晶显示的主流背光光源,为了提升LED主视角亮度,减小背光模块的体积,对双自由曲面透镜进行了扁平化设计,形成透镜......

随着信息时代的发展,近眼显示技术在军用、商用、民用领域获得广泛应用,其结构也从传统的折返式透镜向平面光波导变化。传统的近眼......

为了提高数字灰度光刻系统的焦深,研究了基于点扩散函数稳定性的光瞳编码优化方法,在此基础上综合考虑系统的成像对比度和分辨率,......

微透镜是一种重要的光学元件,它具有重量轻、体积小、集成度高等优点,在光学、光电系统、微机电系统及传感器等领域中有着广泛的应......

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本论文研究了无掩膜光刻调焦系统的光学原理与设计,还研究了可变线宽的离焦光刻理论,此外也对无掩膜光刻系统的实现和应用进行了分......

光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展,集成电路的特征......

由于掩膜的成本在整个光刻成本中所占的份额不断攀升,所以降低掩膜的成本,甚至发展到不需要昂贵的掩膜的无掩膜光刻技术已经成为了......