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根据矢量衍射理论,提出了一种设计纯相位型光瞳滤波器的新方法.根据该方法所设计的滤波器主要应用于采用高数值孔径显微物镜的成像......

为了提高数字灰度光刻系统的焦深,研究了基于点扩散函数稳定性的光瞳编码优化方法,在此基础上综合考虑系统的成像对比度和分辨率,......

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无论是源于人类本身对未知世界探索的渴望，还是现代工程技术的各种需要，对微观领域的高分辨率成像都是一个十分重要的研究课题。这一......