晶体夹持器相关硕士博士期刊学术论文

Ｆｚ１１５型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原......