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晶向标定相关论文
〈111〉晶向标定方法及其在湿法刻蚀硅光栅中的应用
在利用单晶硅的各向异性腐蚀制作光栅的过程中,掩模与硅晶向的精密对准是获取大尺寸光栅结构的前提条件,高对准精度将显著降低光栅......
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湿法刻蚀
硅光栅
晶向标定
各向导性
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