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基底晶态对HfO<sub>2</sub>薄膜晶向结构和力学特性的影响
用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪(HfO2)单层膜,采用掠角X射线衍射(GIXRD)技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和......
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薄膜
HfO2
晶向结构
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激光陶瓷
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基底晶态对HfO2薄膜晶向结构和力学特性的影响
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
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