曝光剂量分布相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

曝光剂量分布相关论文

高精度AZ厚胶光刻及在微型射频同轴器制作中的应用

基于正负胶结合的UV-LIGA 技术在金属基底上制作了一种新型无源微型射频同轴传输器.针对制作过程中由于胶膜内部曝光剂量分布不均......

期刊

正性光刻胶尺寸精度曝光剂量分布紫外光刻微射频同轴传输器

高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用

随着微机电技术的不断发展,用于制作大厚度和高深宽比胶膜的厚胶光刻技术在移动通信系统、卫星导航、航天、国防装备等领域应用前......

学位

正性光刻胶尺寸精度曝光剂量分布紫外光刻射频同轴传输线

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