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最佳成膜条件相关论文
电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟.研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与......
期刊
金刚石薄膜
化学气相沉积
氢原子发射谱线
最佳成膜条件
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