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亚微米、深亚微米LDD MOSFET的衬底电流模型中特征长度改进的描述
建立了衬底电流模型中特征长度参数的改进描述,该参数的引入使衬底电流模型能够有效地适用于从微米尺寸到亚微米、深亚微米尺寸的LD......
期刊
轻掺杂漏MOSFET
衬底电流
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