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面向芯片封装的高速精密定位平台控制系统设计
为提高芯片封装的加工精度和效率,提出了一种由音圈电机驱动的二自由度高速精度定位平台,并基于音圈电机的性质和平台结构的动态分析......
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面向芯片封装的高速精密定位平台控制系统设计
本文以开发面向IC封装的高速、高精度定位系统为目标,以两自由度笛卡尔坐标型高速、高精度定位平台为对象,研究了提高其速度与精度......
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