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硅基GaN增强型MOS-HEMT制备工艺研究
GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)具有高的击穿电压、低的导通电阻、高载流子迁移率和高的载流子漂移速度,有望成为半导体功率领域超越......
学位
GaN MOS-HEMT
欧姆接触
有效传输长度
工艺容差
PGA
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