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为了得到在更高频率下适用的薄膜电感，在本实验中我们尝试制作了栅极型空心薄膜电感。我们采用掩膜法，通过磁控溅射制各样品，在不加磁......
采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内......
讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由......
主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频......
