薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)的栅极在截面方向上是一个台阶,栅极绝缘层(Gate Insulator,GI)和源漏极(Source和Data电极,......

电推进技术具有高比冲等特性，越来越广泛的应用于各种航天任务，如航天器位置保持、航天系统的主推进等。离子推进器栅极系统是推进器......

为了研究30 cm离子推力器束流引出状态对栅极刻蚀的影响,建立了束流引出模型,并采用PIC-MCC方法对CEX离子造成的栅极腐蚀速率进行......

使用基于嵌入式有限元质点网格与蒙特卡洛（IFE-PIC-MCC）的三维等离子体离子模拟程序,模拟离子在离子光学系统中的运动。计算了离子密......