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提出了一种新型的硅微陀螺仪闭环控制策略.所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa,采用金属壳CAN封装形式,驱动和检测两模态品质因素高达10000......
建立了以微机械陀螺驱动模态固有频率为虚拟温度传感器的温度补偿系统,以实现对微机械陀螺标度因数和零偏的高精度温度补偿.研究了......
所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa,品质因素达到3000,采用CAN金属壳封装形式,测控线路采用闭环自激驱动,力反馈式闭环检测方式。驱动......