硅微陀螺仪相关论文
硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪，它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此，硅微陀螺仪在......
由于微机械陀螺仪具有体积小、低功耗的优点,其在航空、航天和航海领域具有广阔的应用和发展前景。随着科学技术的发展,微机械陀螺......
硅微陀螺仪(SMG)是一种利用哥氏效应来检测物体角速度的惯性器件,广泛应用于姿态定位、导航控制等领域。在硅微陀螺的检测电路研究......
硅微陀螺仪是随着微电子机械系统(MEMS)的快速发展而兴起的一类新型MEMS惯性传感器，由于具有独特的优点而被广泛关注，并取得了巨大的......
硅微机械陀螺仪是一种微型惯性传感器,它是利用振动质量块在被物体带动旋转时产生的哥氏效应来测量物体的旋转角速度。在过去的二......
硅微陀螺仪是一种典型的微惯性传感器,它利用哥氏效应来测量输入角速度,属于振动式陀螺仪范畴。硅微陀螺仪具有体积小、重量轻、成......
硅微机械陀螺仪是一种测量角速度的惯性传感器,以其体积小、重量轻、成本低等优点在众多领域都有着广阔的应用前景。硅微陀螺仪驱......
硅微陀螺仪作为一种新型的微型传感器,具有成本低、尺寸小、可靠性高等优点,近几十年来已经成了MEMS领域和惯性技术领域的研究热点......
本论文研究硅微机械陀螺仪测控电路理论与设计,目的是改进测控电路,提高陀螺仪在温度变化条件下的性能稳定性。主要内容包括温度对......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
提出了一种基于激励-校准法的硅微陀螺仪实时模态匹配控制电路,利用了检测模态的幅度响应信号关于其谐振频率对称的特点,采用双边......
研究了一种新的硅微陀螺仪闭环驱动方案,对推挽驱动方式的性能进行了分析,结果表明驱动力矩的频段与噪声信号频段是分离的,因此噪......
介绍了一种新的硅微陀螺仪闭环驱动方案.该方案采用推挽驱动方式,即在陀螺仪活动梳齿两边的驱动电极上分别施加同相交流电压和反相......
研究了硅微陀螺的温度特性,提出了硅微陀螺仪的温度补偿方法.首先,采用开环电路测试了微陀螺仪的谐振频率和品质因素随温度变化的......
以z轴硅微陀螺仪为研究对象，对加工误差产生的误差信号进行了分析．由于加工误差，使得陀螺仪结构不对称，主要表现为支承梁不对称、梳齿......
建立了硅微陀螺仪驱动模态的接口模型，设计了驱动速度信号敏感接口电路，分析表明合理的参数选择基本消除了接口模型中寄生电阻电容导......
分析了正交误差和失调误差产生的原因，推导了正交误差和失调误差的表达式．开环系统分析表明，为了避免开环系统出现谐振峰，两模态（驱动模......
根据目前微观性测量单元MIMU中硅微机械陀螺仪和加速度计的主要技术性能及A/D转换技术的现状,提出了基于高集成度、低功耗和6通道1......
研究了基于调制解调的硅微陀螺仪检测信号提取原理,推导了开环检测传递函数。根据调制解调的频谱转移特性,提出了有效位移噪声是高......
推导了内驱动，外检测双框架式硅微陀螺仪驱动和检测模态的运动方程．在此基础上，利用弹性主轴原理，推导了内外框弹性主轴偏转产生正交信......
本文研究了SDM调制器在陀螺闭环检测中的应用,主要针对其闭环检测的结构设计和参数获取作了相应的研究和阐述。硅微机械陀螺敏感模......
硅微陀螺仪具有体积小、功耗低、可靠性高等优点，在惯性测量领域有着广泛的应用前景。为了提高陀螺仪测量的灵敏度和信噪比，提出了一......
首先从理论上推导了硅微陀螺仪谐振频率、品质因数、敏感信号输出及机械热噪声与温度之间的关系,进而说明了温度对陀螺仪零偏输出......
研究了一种硅微陀螺仪，为了提高品质因数，将其封装在Ф15．5mm×6mm的真空腔内．采用一种新方式实现了闭环自激驱动，该方式解耦了闭环......
为了有效控制硅微陀螺仪的驱动模态,采用基于数字锁相环的相位控制方案对驱动信号振动频率进行跟踪控制.首先,分析了硅微陀螺仪驱......
为了改善硅微陀螺仪控制精度，采用基于现场可编程门阵列（FPGA）实现的傅里叶解调算法，结合同步倍频采样技术，分别对硅微陀螺仪驱动轴检测......
硅微陀螺仪多采用微机械加工工艺制作，其加工的相对精度较低，从而易产生正交耦合误差，影响陀螺仪的输出。为了优化设计硅微陀螺仪结构......
详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成......
根据二阶质量-弹簧-阻尼系统的幅频特性和相频特性关于谐振频率对称的特点,提出了一种低频振荡激励的实时模态匹配技术,根据检测模......
建立了某硅微陀螺仪的等效电路，分析了寄生电容对接口电路的影响。结果表明，合理的接口电路不仅消除了大部分寄生电容的影响，而且减小......
提出了一种新型的硅微陀螺仪闭环控制策略．所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa，采用金属壳CAN封装形式，驱动和检测两模态品质因素高达10000......
研究了振动轮式硅微陀螺仪敏感结构的谐振特性，重点进行了检测轴的闭环控制系统分析和测试。通过对不同气压条件下检测轴谐振特性的......
随着微机电系统(MEMS)和测控技术的深入研究,硅微陀螺仪已成为近年来广泛研究的方向,因其优点众多而被特别关注,广泛应用于军民领......
为了提高硅微陀螺仪性能,分析了驱动和检测模态方程.提出了一种新型的方案,通过傅里叶变换算法计算驱动振荡幅值,通过自动增益控制......
给出了一种硅微机械陀螺制造方法,该方法可适用于各种不同的微机电系统（MEMS）器件,包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利......
通过对硅微陀螺实测数据的分析与预处理,得到了平稳正态零均值的时间序列。在时间序列分析的基础上,通过对比AR模型各参数,利用fpe......
为了分析双质量解耦硅微陀螺结构中的机械耦合误差,对微陀螺结构的非理想解耦特性进行了研究。首先,阐述了双质量解耦硅微陀螺仪的......
为了提高硅微陀螺仪的精度,对硅微陀螺仪的闭环校正控制系统进行了研究.首先,推导了简化的开环系统传递函数,分析表明为了防止谐振......
动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该......
硅微陀螺仪是一类新型的MEMS惯性传感器,以其体积小、成本低、可靠性高等优点被重点关注,在军事和民用领域有着广泛的应用。随着硅......
为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性,使其满足更高精度应用场合的需求,研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术.以典型Z轴硅微陀螺......
提出了一种z轴硅微陀螺仪高精度闭环驱动方案。该方案实现了闭环驱动的相角和增益条件的解耦；对相角进行了优化控制，消除了驱动频率......
在研磨精密球体的过程中,研磨轨迹的在线检测具有十分重要的意义。通过研磨轨迹的在线检测,研究人员可以了解精密球体研磨轨迹的包......
推导了双框架式硅微陀螺仪驱动模态和检测模态的运动方程，定义了驱动位移和敏感位移。在此基础上，利用弹性主轴原理，分别推导了内外框......
硅微型振动陀螺仪是随着微电子技术和微机械加工技术的发展而研制出的一类新型角速率传感器。这类陀螺仪在工作时，用微幅振动代替高......
由于加工误差的存在，硅微陀螺仪驱动和检测模态之间不可避免会产生正交耦合误差，对性能造成了一定影响。为了提高硅微陀螺仪性能，提出......
提出了一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环自激驱动方案。该方案对相角进行了优化控制，消除了驱动频率和驱动模态固有频率的相对频差影......
研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以Z轴硅微陀螺仪为研究对象，以动力学方程和矩阵理论为基础，分析了由于加工非理想性产生......
叙述了两自由度振动轮式硅微陀螺仪的组成、工作原理、建立了数学模型，分析了各种误差，提出了减小误差的方法。......
详细介绍了内框驱动双框架式硅微角振动陀螺仪的工作原理,给出了内框驱动双框架式硅微角振动陀螺仪的工作原理图和结构示意图.应用......
