梳状驱动器相关论文
本文设计了六种由梳状驱动器静电力驱动的硅微薄膜疲劳试验装置，并对其中两种典型的装置进行了有限元模拟。在此基础上，采用表面多晶......
为准确计算梳状驱动器的静电力,针对非平行静电梳状驱动方式以及实际静电致动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,进一步推导出......
设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置，该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS（micro-......
根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置，所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。......
