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诱导坑制备及其对宏孔硅光电化学腐蚀的影响
宏孔硅可应用于微通道板和光子晶体等多个领域。制备规则排列的宏孔硅阵列结构首先需要在硅片表面加工诱导坑。本文对各向异性湿法......
学位
诱导坑
宏孔硅
光刻
各向异性湿法腐蚀
感应耦合等离子体刻蚀
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