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<正> 前言 光波干涉法是直接测量中精度最高的方法,常用于尺寸不太大、表面粗糙度要求很高的量具或工件表面的平面度误差(简称平面......
针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题，研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量......
在楔形玻璃平板表面加工闪耀光栅,即构成了光栅楔形平板,本文详细介绍了其工作原理.将该光栅楔形平板用于双频激光干涉转角测量中,......
