剪切干涉相关论文
基于低成本半导体生产的需求,光刻机的产率和分辨率在过去几十年中不断提高。为了增加光刻分辨率,光刻投影物镜的曝光波长不断减小......
光波相位作为光信息的主要载体之一,其测量及重建技术一直是自适应光学、信息光学等许多领域的重要研究内容。而利用光学干涉进行......
本文提出了一种用非相干光源照明进行剪切干涉计量的方法—光源编码的白光散斑剪切干涉计量术.它采用光栅对光源进行编码以提高空......
从数值方法的角度分析了常规剪切干涉存在的缺陷, 通过数学原理和数值分析方法提出波前延拓剪切干涉, 并证明了它的可行性及其对常......
用光学干涉计量方法获得光场相位,通常都需要做去噪运算。在光场相位空间变化频率不高的情况下,目前的各种算法都能取得不错的效果......
本论文基于气动光学理论,研究在流场试验中检测高速瞬态流场密度分布的方法与实现。可利用气动光学研究高速飞行体周围的流场对图像......
Z箍缩作为当前惯性约束聚变领域热门研究方向之一受到了各大国的重视,在民用及军用领域都有重要的研究意义。Z箍缩等离子体参数诊断......
直线度是导轨几何量测量领域中一项基本内容,同时也涉及平面度、平行度等几何量的测量基础。导轨直线度方面的安全检测具有测量距......
提出一种基于模式展开和最小二乘拟合的算法,可以从大剪切量差分波前快捷地重建原始的二维波前.在傅里叶模式展开理论的基础上,从......
提出了一种可以快捷地重建原始的二维波前的新算法.对于分别在相互垂直方向上横向剪切干涉获得的两个差分波前,用快速傅里叶变换首......
在分析测试原理的基础上,指出了现有方法的横向剪切量获得的不足,根据剪切图和Radon变换在边缘处具有突变的特点,提出了一种基于Ra......
通过对高速气流对光束波前扰动的分析,指出气动光学不均匀性可分为大尺度有序扰动和小尺度随机扰动.对于大尺度扰动,扰动波前可以......
在一种已有的角位移干涉测量技术的基础上,提出一种改进的角位移测量方法.通过选择合适的初始入射角,使从平板前后表面反射的两光......
将剪切干涉法用于温度场的测量 ,通过对干涉图像进行处理 ,得到了电阻丝周围温度场的分布。将高速摄影技术用于火花点火发动机燃烧......
由于时间平均全息再现光场被第一类零阶贝塞尔函数调制,传统的时间平均全息术利用再现像光强实现振幅分布的检测,但受散斑等噪声的影......
为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特......
针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量......
为了实现对光学非球面的低成本在线测量,在比较和分析现有非球面检测技术的基础上,设计并制作了一种小型径向剪切干涉仪用于检测非球......
LTI激光剪切干涉(也称激光散斑错位)成像检测设备技术先进,应用广泛,深受工业界青睐,是航空航天无损检测的理想选择。......
针对磁流体显示器件的结构特征,设计了对称双光束激光散斑剪切实验,着重研究电磁场驱动条件下磁流体中磁微粒的运动状况.解决了激......
为了精确地测量物体表面的动态形变并得到形变高度和梯度信息,提出了一种基于双孔衍射结构的空间载频剪切散斑干涉法。该方法采用......
在横向剪切干涉技术的基础上,讨论了几种波面重建的方法。分析表明,斜率法快速、简单,但精度受剪切量的大小、波面复位等影响较大;里默......
在常规横向剪切干涉仪的基础上,利用波前周期延拓的假设,基于小波变换的方法实现了波前重构。这种波前复原实现了光滑波前的快速重构......
利用横向剪切干涉仪对测量环境要求不高的优点,提出用横向剪切干涉仪测量气动窗口流场对光束质量的影响;给出测量原理,解决了干涉......
研制了两幅激光差分干涉诊断系统,可在一次实验中获得两幅间隔3~12ns的高分辨干涉图像。该系统采用分光延时装置产生两束有一定夹角......
分析了激光相干合成装置及其光路调整要求,提出利用剪切干涉检测合成光路中子光束一致性的方法。分析剪切干涉原理,建立了剪切板干涉......
提出一种新的剪切干涉光学波前传感器 .利用剪切干涉原理和单轴晶体的双折射特性研制而成 .其结构简单紧凑 ,实现完全共光路和偏振......
针对非球面光学元件面形检测中的欠采样问题,提出了一种欠采样包裹相位图的恢复方法。首先,将原始欠采样包裹相位图在水平和竖直两......
剪切散斑干涉术是一种表面微形变的光学测量技术,具有非接触、高灵敏度、无损检测、全场检测等优点,在多种材料的无损检测中有着广泛......
本文通过对平板剪切干涉的典型应用一确定光束的准直性的进一步讨论,提出了定量确定光夷不准直度的公式。并用实验进行了验证。......
建立了一套用于火花点火发动机缸内燃烧研究的剪切干涉及高速摄影实验装置.利用图像处理系统对拍摄到的燃烧干涉图像进行处理,可以......
将环型横向剪切干涉仪置于两个镜头之间,由此设计出一种新型的离焦4f差分干涉仪,该干涉仪同时具有分离光路的剪切量和条纹空间频率......
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作为检测光学系统和光学元件质量的横向剪切干涉仪是一种值得推广、使用的仪器。近年来,它受到许多光学工作者的重视。但其还存在......
用剪切干涉仪测量了电缆枪产生的等离子体电子密度分布.在实验中获得了激光波前通过等离子体后的干涉图样,测出等离子体沿轴向的平均......
球面的曲率半径是决定透镜光学性能的主要参数之一,它是光学冷加工过程中衡量光学零件加工质量的一项重要指标。随着现代光学技......
目的实现球体表面微小缺陷的非接触式检测。方法基于激光散射和剪切干涉的光学原理,设计了适用于微小缺陷检测的光路系统,搭建了可适......
采用结合四步相移的条纹投影法,实现了物体三维轮廓的测量。把计算机产生的干涉条纹作为投影源,在实验中采集4幅相移条纹图,利用所提......
模式耦合误差常见于横向剪切干涉测量中基于波前梯度数据的模式复原法,其原因是用于表示波前的基函数--Zernike圆多项式的导数不正......
提出一种剪切干涉测量中实现由相位差分准确高效恢复被测波前相位的算法.该算法是基于被测波前相位与其差分完全的点对点对应关系,......
针对大面积的动态检测对大视场角散斑干涉技术的需求,研究了一种基于4厂成像的大视场载频散斑干涉系统。该成像系统由前置广角镜头......
随着集成电路、制作加工、材料研究等行业的发展,对表面的形貌测量要求越发苛刻。光学测量通过整合光学、电工学、微机运算及数字......
针对物体表面的三维形貌测量问题,提出了一种基于激光剪切干涉条纹的三维形貌测量方法。该方法利用激光剪切干涉原理产生密集的干......
直线度是几何量测量领域中一项基本内容,同时也是平面度、平行度、垂直度、同轴度等几何量的测量基础,导轨直线度的检测具有测量距......
从大学物理教学的角度,阐述了单平行平板横向剪切干涉的原理,在此基础上提出了一种单平行平板剪切干涉的物理实验方法,分析了实验......