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气体分压优化相关论文
通过优化工作气体分压提高 准分子激光器脉冲能量输出
分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响。理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程 中的碰撞过程,并对Ne与其......
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