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气流场强度相关论文
气流场强度对直流磁控溅射ZAO薄膜性能的影响
用含2%Al的Zn/Al合金靶材,在不同气流场强度下使用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜样品。定义气流场强度......
期刊
ZAO薄膜
直流反应磁控溅射
气流场强度
电导率
透射率
ZAO thin films
DC magnetron sputtering
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