气浮滑块相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

气浮滑块相关论文

基于音圈电机驱动的精密定位系统

对研制用于快刀加工的精密定位系统，分析其数学模型，研究其控制策略。该系统采用音圈电机直接驱动，空气静压导轨支撑，光栅尺实时检测。......

期刊

音圈电机气浮滑块精密平台

基于音圈电机驱动的快速定位系统设计及关键技术研究

快速精密定位技术是精密工程领域的基础研究内容之一,其发展推动着精密工程技术的不断进步,对快速精密定位技术进行研究具有非常重......

学位

定位平台气浮滑块联轴器音圈电机 PID 补偿

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