精密平台相关论文
微/纳米精密位移平台广泛应用于生物医疗、材料化学、物理电子等领域微小物体的操作、搬运、测量等任务,这些应用要求多自由度的协......
精密定位技术是纳米操作、纳米测量以及纳米制造的关键技术之一。开展基于新的机构形式、驱动方式、检测技术及控制方法的多自由度......
在半导体、液晶器件的制造、装配和检测等行业，现在迫切需要大行程、高精度的工作平台。 本文首先介绍了国内外精密平台的研究现......
大行程精密定位平台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域占有重要地位，随着科学技术的不断发展，对平台定位精度的要求也越来越高。......
针对自动光学检测（AOI）平台运行过程中的定位精度控制问题,提出了一种基于速度和加速度前馈控制与PID反馈控制的复合控制算法,该算法......
尖端工业生产领域需要精密平台为其提供技术支持.对各国的先进直线超声波电动机驱动的精密平台的原理、性能和应用作了初步介绍,并......
对研制用于快刀加工的精密定位系统，分析其数学模型，研究其控制策略。该系统采用音圈电机直接驱动，空气静压导轨支撑，光栅尺实时检测。......
概括了传统精密工作平台的特征，综述了当今世界采用直线超声电机驱动的精密定位平台的研究现状及主要产品，列举了一些典型例子，并总结......
在车床和磨床上经常会加工高精度外锥体的工件,锥度和大、小端直径测量困难。通常的测量方法是采用锥度环规与外锥体互研的办法,该......
基于视觉识别系统和精密运动平台在叠片机精密定位中的典型应用，详细阐述了视觉识别和精密定位平台系统设计原理和硬件选型理由。重......
精密直线运动平台在宏微双驱动纳米定位系统中作为宏动台，用于实现大行程工作范围，解析其全工作行程上的振动特征。是微动台实现二级......
根据在实际工业生产中对激光加工的要求和激光加工自身的特点，把激光加工技术与计算机技术、精密机械传动等溶为一体形成激光加工系......
本课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2011CB707602)；国家自然科学基金项目(51275229)。直线超声电机是利用压电陶......
<正>1概述 天然花岗石质地坚硬,色泽美观大方,经久耐 用,是一种理想的、被广泛应用的建筑材料;同时 花岗石良好的耐酸、耐碱、耐磨......
针对浸没式光刻机光刻头高速度、高加速度的运动特点,设计了一种短行程、超精密的运动定位平台,以直线交流伺服电机驱动。设计了直......
