气相刻蚀相关论文
金刚石具有优异的机械、电、热及化学性能，广泛应用于高效加工、生物传感器、半导体及量子器件等领域，而刻蚀技术对其性能发挥起着重......
采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1:3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产......
单一导电属性单壁碳纳米管的控制制备是目前碳纳米管研究领域的重点和难点,也是制约其在微纳电子器件中应用的瓶颈.近年来,研究者......
由单层石墨烯卷曲而成的单壁碳纳米管具有独特的一维中空管状结构和优异的物理化学性质，特别是单壁碳纳米管的电学性质与其结构紧密......
针对纳米悬浮结构的制作,对不同温度和不同气相条件下的氢氟酸（HF）气相刻蚀进行了研究。利用自制的研究装置,使用HF/水混合气体和HF/......
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随着无线通讯技术的高速发展,通讯终端多功能化（如GPS导航、数据传输等）的市场需求日异强烈,以及星载、机载、弹载等电子系统对元器......
光伏电力是最具发展前景的清洁能源。光伏电力发展的主题之一依然是降低成本。国内外光伏电力主要基于硅片太阳电池。近年来发展的......
20世纪60年代初,激光的发明和光纤制造技术的成熟,使得光纤在实际应用中得到发挥。由于光纤具有较好的稳定性、高速高质量的传输性......
金刚石在量子信息器件、生物医药载体、生物传感器、高性能电极、化学分析传感器等诸多领域具有极大的应用价值,金刚石表面刻蚀技......
