金刚石具有优异的机械、电、热及化学性能，广泛应用于高效加工、生物传感器、半导体及量子器件等领域，而刻蚀技术对其性能发挥起着重......

分别利用镀银的硅衬底和铂丝电极作为原电池反应中的阴极和阳极,基于金属辅助化学刻蚀采用宏观原电池的方法制备硅纳米线,深入研究......

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本文以CPU金属刻蚀去胶腔为背景，简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中的问题，展开讨论。通过实际案例分析．展示了CPU干刻......

半导体器件制造中会用到ALSI或ALSICU做金属连线,ALSI或ALSICU里一般含有0.5%~1%的Si,目的是防止ALSI互融造成PN junction spiking......