氢化碳膜相关硕士博士期刊学术论文

用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳(a-C：H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团，则能够在a-C：H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的......