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氢等离子体浸没相关论文
脉冲形状及时序对氢离子注入Kapton光学性能影响研究
采用氢等离子体浸没离子注入方法,研究不同的脉冲波形形状及方波注入顺序条件下Kapton-H薄膜的光学性能变化,通过Particle in cell......
学位
氢等离子体浸没
离子注入
脉冲形状
光学性能
Kapton-H薄膜
数值模拟
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