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氧化辅助抛光相关论文
碳化硅零件氧化辅助抛光超精密加工的研究现状
摘要:通过等离子体氧化、热氧化、电化学氧化在碳化硅基材上获得软质氧化层,利用软磨粒抛光实现氧化物的快速去除,有利于提高材料去除......
期刊
特种加工工艺
烧结碳化硅
氧化辅助抛光
表面粗糙度
材料去除效率
non-traditional machining
RS-SiC
oxidation-as
烧结碳化硅光学零件的氧化辅助抛光机理研究
烧结碳化硅(RB-Si C)的加工技术已经成为光学镜面加工领域的研究热点之一。由于RB-Si C材料硬度大、构成组分多,目前加工中存在的......
学位
烧结碳化硅
氧化辅助抛光
阳极氧化
等离子体氧化
热氧化
氧化模型
形貌特征
加工特性
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