氧化铟锡(ITO)掩膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

氧化铟锡(ITO)掩膜相关论文

基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀

提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化......

期刊

微电子机械系统(MEMS) 键合片深硅刻蚀氧化铟锡(ITO)掩膜图形化刻蚀选择比 micro-electromechanical system(MEMS

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