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该文将对薄膜型A/F(空燃比)氧传感器用新材料-TiO的性能进行研究.采用溶胶-凝胶法在AlO基片上制备薄膜:以钛酸四丁酯为原料,无水乙......
SrFeO3-δ薄膜是一种新型的氧传感器材料。本论文讨论了该铁酸锶溶胶的配制、薄膜的制备以及测试了材料的氧敏性能,并对SrFeO3-δ......
以TiCl4,SrCl2.6H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出掺Al3+的钛酸锶薄膜,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成,并比较了铝含量不同的......
在本底真空2.4×10-3Pa,溅射电压420 V,溅射电流0.3 A,氧分压0.17 Pa,溅射总气压1.5 Pa条件下制得TiO2薄膜,未退火时为无定型......
笔者对一种新型的氧气敏材料--P型氧化物半导体材料NiO进行了研究探讨,文章叙述了NiO对氧气的敏感机理,详细介绍了NiO氧敏材料的制......
为提高元件半导化原理并提高元件的氧气灵敏度,对以SrTiO3为基材的样品分别在强还原气体条件和大气条件下的N型电压敏、电容双功能......