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氧敏器件相关论文
磁控溅射TiO<,2>薄膜与氧传感器的研究
TiO2氧敏材料由于其工作温度低、性能好、制备简单等优点使得它在汽车尾气检测、食品保鲜,以及工业炉燃烧气氛的控制和空气净化方面......
学位
直流磁控溅射
TiO2
氧敏薄膜
氧敏器件
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