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氮化铝双端固支音叉相关论文
氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计
基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分......
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微传感器
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