微传感器相关论文
随着激光技术的发展,激光微加工技术在激光刻蚀、表面改性、增材制造等领域得到了广泛的应用。其中,激光诱导向前转移（Laser Induce......
随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造......
本论文提出了一种基于MEMS技术、利用痕量爆炸物爆燃放热特性对其进行检测的方法。首先对痕量爆炸物受热激发下的爆燃反应进行研究......
基于微流体芯片技术提出了一种液压油微传感器.微传感器由内嵌硅钢片的平面电感检测线圈与对置硅钢片构成.电感检测模式下对金属颗......
微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成......
由于高新技术的迅速发展，微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国......
利用基于激光测量技术的测微传感器实现安全壳水平变位监测系统改造,利用具有模拟信号输出功能的精密位移传感器替代安全壳垂直变......
本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。结果表明:KOH溶液非常适用于该技术;当几片硅同时进行电化学腐蚀时不会......
微加速度计是一类重要而且应用广泛的微机电器件，其性能的好坏除敏感芯片的设计与加工以外，很大程度上取决于接口控制电路的设计。同......
详细论述了一种基于微机械传感器与AT89C2 0 51单片机的智能振动传感器。该传感器可对机械振动信号进行测量、简单分析和超限报警 ......
随着我国经济和交通事业的发展，公路运输的超重现象越来越严重，超载造成了路面、桥梁等设施的破坏，从而恶化了道路服务水平和行车安全......
随着微传感器技术、无线通讯、及生物电磁等技术的逐渐发展，承载这些技术的体内微机电系统和其他相关系统会越加完善，微创技术必将逐......
轴承是机械装备传动系统中的重要部件,其运行状态将直接影响系统的性能。对轴承的运行状态进行有效监测,是避免因轴承故障造成灾难......
与一般的电容压力传感器和其它类型压敏器件相比，接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点，如较好的线性，高的灵敏度和大的过载保......
氧气传感器是气体传感器的主要分支之一。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传......
本文采用空分复用法做为解耦方法。文中详细介绍了夹钳的结构设计，阐述了夹钳在新的工作模式下能自感知力的可行性，并确定夹钳合理的......
硅微谐振式加速度计是一种新型的加速度计,其输出信号为频率信号,具有精度高和抗干扰能力强等优点,已成为微传感器的重要发展方向......
气象检测的趋势是要逐渐实现自动化、微型化、远程化。这要求气象数据采集系统能够及时、准确、可靠的采集到远程气象数据。如何保......
自从介观这个概念被提出以后，人们相继发现了很多的与介观相关的物理效应。而光子晶体的发现，正是介观物理中一个很有特色的一个载体......
形状记忆合金 (SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能 ,而在微机电系统中的微驱动器和微......
在第一次海湾战争中,军用机器人、军用无人机第一次获得公众的广泛关注,此后,这类技术得到长足发展,并出现了微型机器人、微型无人......
文中介绍一种可调零点和增益的电容式微型传感器。通过对MOS电流镜电路的深入探讨 ,给出了由MOS电流镜电路组成的零点和增益可调的......
在美国加州理工学院和罗切斯特大学,研究人员已经开发出一种超灵敏的微传感器加速度计。这种设备使用激光探测运动,尽管设备很小,......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
本课题目标是针对汽车ESP系统高性能、低成本和高可靠性的应用目标，突破MEMS传感器系统集成、低成本批量制造、高可靠性等关键技术，......
微电子机械系统技术作为新时代发展全面推广的新兴技术,在影响人们日常生活的同时,得到了各个领域发展的认可.本文以现阶段行业发......
面向水环境监测国家重大需求，针对无线网络微传感器芯片系统急需解决的领域前沿问题，围绕着三维微纳结构传感效应及尺度效应、敏感材......
微型机器人应用于临床医学的诊疗,不仅提高了诊断的可靠性、真实性,而且由于微机电系统本身的微小尺寸、高度智能,极大地减少了病......
介绍了近年来新发展的基于微传感器的智能轴承技术.根据智能轴承系统的组成,该技术主要涉及四个方面的问题,即智能轴承机械结构的......
讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的设计和分析 ,并针对典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用......
微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems,简称MEMS)技术是建立在微米纳米技术基础上的21世纪前沿技术.它用微电子技术和......
20世纪,人类在航天领域实现了飞天梦想,在信息领域取得了巨大的成功,极大地改变了人类的生活质量。随着科技的发展,微电子器件的集......
随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文就MEMS汽车传感......
微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System）简称MEMS，是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电......
通过四种不同的聚合物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上,可以得到这种新型的化学气敏电阻型微传感器,将这四种不同聚合物......
以铜离子选择电极为靶材,采用脉冲激光沉积技术在p型单晶硅基底上制备了一种铜离子选择电流型薄膜传感器。该传感器的线性区间为10......
提出了一种基于多壁碳纳米管微传感器阵列和非线性随机共振算法的新型气体检测方法。微传感器阵列包括碳纳米管阳极传感器和碳纳米......
目前，生物相容性微传感器的生产还是一个非常耗时和昂贵的过程，现有的传感器或是感应性能十分有限，或是生物相容性还未经证明。英国《......
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器......
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测、闭环自激电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.复合音叉微小型谐振式压......
阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ,证明了MOSFET压力微传感器可通过......
分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应......
生活中，你可曾留意随处可见的小助手?如光学鼠标、随车护卫的隐藏式安全气囊等等，这些都是“微传感器”的应用。 随着微机电技术(......
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技......
随着微传感器的广泛应用,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中.从微机械加工技术的关键工艺入手,分别对体微机械......
对近几年国内外出现的几种多孔硅制备方法和装置,特别是电化学方法如旋转电解槽法、电偶电流法和双电解槽法进行了详细的介绍,并对......
