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氮气氛退火相关论文
氮气氛退火直拉硅中缺陷的低温红外光谱分析
将直拉硅、微氮直拉硅样品在氮气氛保护下1100℃退火8h,以引入氮杂质。利用低温红外技术(20K)获得样品的精细光谱。试验发现,在285......
期刊
直拉硅
快中子辐照
氮气氛退火
红外光谱
缺陷
czochralski silicon(CZ-Si)
fast neutron irradiated
nitro
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