用离子束辅助沉积技术９Ｃｒ１８钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜，ＴＥＭ观察膜呈多晶结构，具有（１１１），（２００）和（２２０）择优取向。ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置。膜的硬度与Ｎ含量有关，Ｎ的含......