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水合抛光相关论文
水合抛光加工的运动学特性
建立了旋摆驱动方式下水合平面抛光过程中工件的运动学模型,揭示了抛光盘开孔方式对蓝宝石衬底的水合抛光均匀性影响规律。旋摆驱......
期刊
旋摆驱动
水合抛光
蓝宝石衬底
轨迹均匀性
单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究
对于用作光电子材料的表面加工,迫切要求的是最终的几何形状和精度要高,尤其是要求加工表面变质层极小,且保持晶体理想的无变形。......
学位
蓝宝石
水合抛光
抛光温度场
水合反应
表面完整性
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