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信息化时代,人们不仅需要更多更新的器件去获取、控制、传输信息,而且对信息的获取速度、信息质量、信息的多样化提出更高的要求。......
提出一种基于泰伯效应利用泰伯子像实现光刻,并利用反演光刻技术由期望图案设计掩膜板的方 法。泰伯子像是在分数倍泰伯距离上出现......