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流体动压超光滑加工相关论文

流体动压超光滑加工关键工艺参数优化

流体动压超光滑加工材料去除主要受工件表面流体动压和剪切分布的影响,根据材料去除的理论模型分析了影响材料去除的关键工艺参数......

期刊

流体动压超光滑加工工艺参数材料去除速率稳定性

基于材料弹性域去除的超光滑表面加工关键技术研究

现代光学技术的发展对光学元件表面质量的要求不断提高。以极紫外光刻技术为例,不仅要求光学元件的表面粗糙度达到原子级水平,同时......

学位

超光滑表面弹性域材料去除机理化学吸附纳米抛光颗粒流体动压超光滑加工表面粗糙度表面/亚表面损伤

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