超光滑表面相关论文
超光滑表面在现代工业和国防领域的应用越来越多，但由于其对加工工艺和环境以及设备的要求苛刻，使得超光滑表面的获得还存在较大难度......
钛宝石晶体是超强、超短脉冲激光振荡源广泛采用的工作物质,其口径大小和表面全频域波面误差决定了超短、超强激光系统的输出能量......
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工, 建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统, 同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相......
分析了碳化硅(SiC)材料加工原理与难点,介绍了SiC晶片的精密抛光技术,使用化学机械抛光(CMP)方法对4英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC晶......
本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素.通过改进清洗工艺,制......
随着超光滑表面元件在半导体加工行业、航空航天和国防军工领域的广泛应用,超光滑表面的清洗技术的质量与效果显得格外重要。本文......
大口径非球面光学元件是光学遥感卫星的核心部件之一，广泛应用于航空航天高分辨成像领域。计算机控制光学表面成型技术(COMPUTE......
超光滑表面在现代工业和国防领域的应用越来越多,但由于其对加工工艺和环境以及设备的要求苛刻,使得超光滑表面的获得还存在较大难......
为了精确控制超光滑加工过程中磨头的运动轨迹,从而实现光学元件材料去除的均匀稳定,研究了超光滑加工的后置处理算法。分析了超光......
随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广。传统超精密抛光技术大多存在效率低、加工质量不易控制等问题,难......
光学玻璃以其优异的物理性能被广泛应用于航天、信息、能源、化工、微电子等领域.随着这些领域的不断发展,传统技术已无法满足日新......
随着科技的发展,超光滑表面材料的应用变得越来越广泛,对透明超光滑表面元件的面形精确测量的要求也随之提高。在测量透明平行板的......
随着微电子学领域和光学领域及其相关技术的发展,对所需材料表面质量的要求越来越高,超光滑表面加工技术随之受到发展和重视。本文......
单点金刚石飞切是较为成熟的DKDP(高掺氘磷酸二氢钾)晶体加工方法.本文在进口卧式金刚钻切削车床上研究了DKDP晶体的加工工艺,重点......
表面工程的兴起、发展及应用,以丰富多样的功能、低廉的成本,给制造业、维修及再制造等的发展、创新注入了活力.本文基于表面工程......
随着科技的快速发展,用于国防和民用领域的一些重要零部件对表面精度的要求也越来越高.文章阐述了超光滑表面的定义,介绍了超光滑......
本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置，该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Ｚｅｒｏｄｕｒ陶瓷玻璃进行控制力抛......
首先,对磁流变抛光的原理及其微观机理进行了分析,并对磁流变液的特性进行研究.从磁流变液(Magnetorheological Fluids,MR Fluids)......
该文结合国家自然科学基金项目"埃级超光滑表面无磨料低温抛光的理论与实验研究"对无磨料低温抛光加工方法进行了较为系统的研究.......
弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这......
在现代光学应用、电子信息等高科技领域,大量大平面型精密光学零件和功能晶体材料常常需要进行超光滑表面加工。由于工艺要求高,目......
随着科学技术的不断发展,超光滑表面加工技术在光学仪器、航空航天、高精密机械等领域受到越来越广泛的应用。随着产品的更新换代,......
同步辐射光源运用其高亮度、短波长的同步辐射光在空间分辨上的优势,可进行许多前沿学科的探索,已经成为基础科学、物质科学及生命......
本文主要研究了受中国航天电子技术研究院委托所研制的超低损耗陀螺光腔专用调节设备,其实质是设计一套超光滑表面元件疵病检测系......
超光滑表面在光学、微电子、能源等各个领域都有着重要的应用,成为各国精密加工技术研究的重点。尤其在光学领域,超光滑表面成为降......
本论文研究的主要内容是设计一套用于超光滑表面的多光束干涉显微测头。系统主要部分为光学结构部分，辅助部分为信号处理电路部分。......
微晶玻璃因其良好的机械性能和较高温度下的化学稳定性而被用作激光陀螺反射镜基底材料,但两相多晶结构又使其清洗后易受腐蚀,损伤......
从理论上分析了微粒重叠对测量结果的影响,通过简化模型,给出了对粒子数测量结果的补偿曲线。并建立了分析图象分辨率、微粒识别率......
通过对玻璃、陶瓷、金属3个试件进行超精密加工,使试件表面粗糙度达到纳米级,采用非破坏性的X射线衍射sin2ψ法测量原理对不同试件......
基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数。研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超......
期刊
利用纯金属锡制作抛光盘,结合超精密主轴和导轨,可以对抛光盘进行超精密车削修整.同时该机床的抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的......
针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法-定偏心浸液式抛光.分析了微晶玻璃的性......
介绍了超光滑表面清洗的基本理论,指出了当前超光滑表面清洗中存在的问题,系统分析了现有清洗技术的原理和清洗效果,并指出清洗技......
本文给出了法拉第旋光片的结构设计,阐述了超光滑表面加工理论,分析解决了加工过程中的难点,完成了法拉第旋光片工作面与楔角检测,......
磁流变抛光的一个主要目标是实现超光滑表面的加工,加工不同的材料,实现的超光滑水平不一致,且加工效率也不同。本文采用实验室现......
在频域内利用微观轮廓功率谱密度和反射光栅模型得出:基片表面微观形貌在空间波长0.37～0.895μm范围内的谐波分量是造成反射镜散射......
在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系.在上海同步辐射光源小角......
深紫外投影光刻机是目前高端半导体集成电路制造的主流设备,其中,光刻物镜系统是光刻机中最精密、最复杂的分系统。随着数值孔径NA......
文中介绍了蓝宝石基片的主要抛光方法，包括浮法抛光、机械化学抛光、化学机械抛光和水合抛光等，对它们的工作原理、特点作了分析和总......
为了研究目前主流微加工表面检测方式，本文选择三种基本材料：K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工，并使......
德国瓦克集团将在纽伦堡欧洲涂料展ECS2007上，展出新型有机功能硅烷产品。该产品可产生超光滑表面，适用于特别疏水功能的可再分散乳......
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法，但由于需要严格的加工条件，很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工......
