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浸没式透镜相关论文

光学光刻的极限

讨论了光学光刻技术的各种分辨力增强技术(RETs),根据各类光刻设备的开发进展,探讨了光学光刻技术的加工极限.......

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光学光刻分辨力增强技术浸没式透镜偶极照明双重曝光分辨力极限 Optical Lithography RETs Immersion Lithography

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