深紫外光强度分布相关硕士博士期刊学术论文

本文根据菲涅尔衍射的原理，在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下，给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时，......