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溶解抑制剂相关论文

193nm化学放大光刻胶研究进展

193 nm光刻胶主要有化学/非化学放大、分子玻璃和无机-有机杂化等类型。目前,商业化193 nm光刻胶基本为化学放大型,主要成分包括聚......

期刊

化学放大胶聚合物树脂光致产酸剂碱性添加剂溶解抑制剂

ULSI用193nm光刻胶的研究进展

从193 nm光刻胶的各个组分,如:主体树脂、光致产酸剂、溶解抑制剂、碱性添加剂以及存在的问题和解决途径等多个方面综述了193 nm深......

期刊

193nm 光刻胶主体树脂光致产酸剂酸敏基团溶解抑制剂碱性添加剂

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