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激光感生破坏相关论文
利用表面化学反应生长高功率激光用光学薄膜
用TiCI4和 H2O经表面化学反应生长出TIO2而制备出光学薄膜。在240 mm直径上的厚度分布不均匀性小于1%。25℃下生长的TiO2薄膜结构为......
期刊
表面化学反应
光学薄膜
高功率激光
薄膜结构
TiO2 薄膜
激光感生破坏
输出能量
非晶态
不均匀性
厚度分布
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