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光刻工艺为平板显示制造业中的核心工艺。平板显示发展的趋势是大面积和高分辨率。本文针对平板显示制造业,基于激光投影扫描系统......
随着电子产品对大面积、高精度成像的需求,对印制电路板的设计与制造的要求也越来越高。这也推动了PCB生产所需的曝光设备的研制。......